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技術(shù)文章 / ARTICLE
描述:光譜干涉測量傳感器基于薄膜干涉原理,薄膜可以是透明固體、液體或由兩塊玻璃所夾的氣體薄層。入射光經(jīng)薄膜上表面反射后得第一束光,折射光經(jīng)薄膜下表面反射,又經(jīng)上表面折射后得第二束光,這兩束光在薄膜的同側,由同一入射光振動(dòng)分出,是相干光,屬分振幅干涉。當由一組波長(cháng)組成的白光入射到薄膜上時(shí),某些波長(cháng)的光被增強,而某些波長(cháng)的光則被減弱。通過(guò)對混合的兩個(gè)波前產(chǎn)生的光干涉條紋進(jìn)行光譜分光,測算干涉信號的頻率光譜,
參考距離:10mm |
測量范圍:±0.2mm |
光斑直徑:Φ7μm |
測量角度:±45° |
靜態(tài)噪聲*2:20nm |
線(xiàn)性誤差:<±0.12μm |
橫向分辨率:3.5μm |
外徑*長(cháng)度:φ40*99.4mm |
重量:186g |
最小可測厚度:5% of F.S. |
溫度特征:<0.03% of F.S./℃ |
防護等級:IP40 |
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